研究設備 薄膜成長装置 パルスレーザー堆積装置 パルスレーザー堆積装置2 パルスレーザー堆積+スパッタ成膜装置 カルコゲナイド スパッタ成膜装置 分子線エピタキシー装置 4源スパッタ成膜装置 イオンコーター バルク試料合成装置 Ar循環式グローブボックス(材料合成用) グローボックス グローボックス+ホットプレス装置(大気非暴露で焼結体を作製) 放電プラズマ焼結・ホットプレス装置 プレス機 遊星ボールミル装置 真空・ガス封管用システム 各種電気炉 (ボックス炉・環状炉) 水素化物・窒化物合成用電気炉 物性測定装置 プローバーシステム(電気・熱電・イオン・誘電特性) 電気測定プローバーシステム+グローボックス 高温ホール効果測定装置 低温電気特性評価装置 低温ホール効果・熱電測定装置 高温・低温ホール効果・熱電特性測定装置+グローボックス 熱伝導率測定装置 (定常法) レーザーフラッシュ熱拡散率測定装置 パルス光加熱サーモリフレクタンス法熱拡散率測定装置 熱電特性評価装置 熱電モジュール変換効率評価装置 光電変換特性評価プローバーシステム X線回折装置 原子間力顕微鏡 示差走査熱量計