研究設備

薄膜成長装置

パルスレーザー堆積装置
パルスレーザー堆積装置
パルスレーザー堆積装置2
パルスレーザー堆積装置2
パルスレーザー堆積+スパッタ成膜装置
パルスレーザー堆積+スパッタ成膜装置
カルコゲナイド スパッタ成膜装置
カルコゲナイド スパッタ成膜装置
分子線エピタキシー装置
分子線エピタキシー装置
4源スパッタ成膜装置
4源スパッタ成膜装置
イオンコーター
イオンコーター

バルク試料合成装置

Ar循環式グローブボックス (材料合成用)
Ar循環式グローブボックス
(材料合成用)
グローブボックス
グローブボックス
グローボックス+ホットプレス装置 (大気非暴露で焼結体を作製)
グローボックス+ホットプレス装置
(大気非暴露で焼結体を作製)
放電プラズマ焼結・ホットプレス装置
放電プラズマ焼結・ホットプレス装置
プレス機
プレス機
遊星ボールミル装置
遊星ボールミル装置
各種電気炉 (ボックス炉・環状炉)1
各種電気炉 (ボックス炉・環状炉)
各種電気炉 (ボックス炉・環状炉)2
各種電気炉 (ボックス炉・環状炉)
水素化物・窒化物合成用電気炉
水素化物・窒化物合成用電気炉
真空・ガス封管用システム
真空・ガス封管用システム

物性測定装置

プローバーシステム (電気・熱電・イオン・誘電特性)
プローバーシステム
(電気・熱電・イオン・誘電特性)
電気測定プローバーシステム+グローボックス
電気測定プローバーシステム
+グローボックス
低温電気特性評価装置
低温電気特性評価装置
高温・低温ホール効果・熱電特性測定装置+グローボックス1
高温・低温ホール効果・
熱電特性測定装置+グローボックス
高温・低温ホール効果・熱電特性測定装置+グローボックス2
高温・低温ホール効果・
熱電特性測定装置+グローボックス
低温ホール効果・熱電測定装置
低温ホール効果・熱電測定装置
高温ホール効果測定装置
高温ホール効果測定装置
熱伝導率測定装置 (定常法)
熱伝導率測定装置 (定常法)
レーザーフラッシュ熱拡散率測定装置
レーザーフラッシュ熱拡散率測定装置
熱電特性評価装置
熱電特性評価装置
パルス光加熱サーモリフレクタンス法 熱拡散率測定装置
パルス光加熱サーモリフレクタンス法
熱拡散率測定装置
熱電モジュール変換効率評価装置
熱電モジュール変換効率評価装置
X線回折装置
X線回折装置
光電変換特性評価プローバーシステム
光電変換特性評価プローバーシステム
原子間力顕微鏡
原子間力顕微鏡
示差走査熱量計
示差走査熱量計
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